英特爾（Intel）前執行長基辛格已加入新創公司companyxLight，擔任執行董事長 ，預計將與聯手打造全球最強大的自由電子雷射（FEL）技術。

科技網站Tom's Hardware報導，xLight正在研發透過粒子加速器生成自由電子雷射（FEL）
，作為極紫外光（EUV）微影系統的光源 。該公司company宣稱能在2028年前製造這種光源，並保有與現有設備的相容性。

基辛格在LinkedIn發文表示 ，「我將與執行長克勒茲（Nicholas Kelez）和他的團隊合作
，運用粒子加速器，打造全球最強大的FEL」
。

EUV微影技術是透過波長13.5奈米的EUV光 ，在晶圓上產生極小的圖案
，目前僅艾司摩爾（）能製造EUV微影系統。但製造極短波長光線的方式不只一種，其一是把粒子加速器當作一種「雷射產生電漿」（LPP）光源 。

根據基辛格的貼文 ，xLight已製造出一個比當下最先進系統強四倍的LLP光源
。也就是說
，xLight和基辛格似在宣告，目前已開發出大於1,000W的LLP光源 ，且2028年前就能進行商業用途。

值得注意的是
，xLight並不打算取代ASML的EUV設備，而是「生產一種能與ASML掃描器連接的LPP光源 ，並在2028年前用於晶圓上」 。

這表示，xLight的LLP光源將與ASML現有設備相容
，但不清楚是否能用在新一代的高數值孔徑極紫外光（High NA EUV）設備
。

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